Перший за структурою можна розділити на механічний вакуумний насос і реактивний вакуумний насос. Всі механічні рухи (обертові або ковзаючі), що застосовуються в різних вакуумних устаткувачах для зміни об'єму всмоктувального контейнера насоса та вакуумного насоса, зазвичай називають механічними вакуумними насосами. Механічний об'ємний вакуумний насос змінює робочий об'єм камери насоса за допомогою механічного руху для досягнення ефекту механічного об'ємного вакуумного насоса. До таких насосів відносяться зворотно-поступальні вакуумні насоси, поворотні механічні насоси (включаючи поворотні насоси, гвинтові насоси, кореневі насоси, рідкі кільцеві насоси тощо). Цей тип насоса використовується крім механічного насоса.
По-друге, за принципом роботи його можна розділити на вакуумний насос для подачі газу та вакуумний насос для захоплення газу. Насос для подачі газу - це ціль, яка дозволяє безперервно втягувати газ і виходити на вакуумний насос. Існують два типи вакуумних насосів: вакуумні насоси змінного обсягу та насоси для передачі імпульсу. Газозахоплюючий насос - це вакуумний насос, який адсорбує або агломерує молекули газу на внутрішній поверхні насоса, тим самим зменшуючи кількість молекул газу в ємності та досягаючи мети всмоктування. Поршневі вакуумні насоси, роторні лопатеві вакуумні насоси, вакуумні насоси, гвинтові вакуумні насоси, вакуумні насоси, дифузійні насосні інжекційні насоси та ряд інших типових типів.
